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  • 滑動式二硫化鉬CVD制備設備
    滑動式二硫化鉬CVD制備設備
    硫粉預熱器采用管內測控溫以保證在250℃以下,穩(wěn)定控制硫蒸汽的蒸發(fā)時機和蒸發(fā)溫度。真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復合真空計(在1000Pa以上測量不受氣體種類影響,耐硫蒸氣腐蝕),通過調節(jié)真空蝶閥的開啟程度調節(jié)爐管內壓力穩(wěn)定,在1200℃以下的工藝溫度穩(wěn)定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。滑動式二硫化鉬CVD制備設備
    型號:    廠商性質:代理商
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